關(guān)鍵詞：金相顯微鏡；物鏡場曲；物鏡放大倍數(shù)；示值誤差；校準(zhǔn)規(guī)范；測量不確定度。
金相顯微鏡是廣泛用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的測量儀器。它可以測量金屬材料金相組織奧氏體的晶粒度級別、材料熱處理后滲碳層的厚度等。為了提高我國的材料研發(fā)制造水平，我們必須對金相顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)或檢定。金相顯微鏡主要分為光學(xué)式金相顯微鏡、數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、萬能金相顯微鏡、圖像分析儀等。（以下統(tǒng)稱金相顯微鏡）
1、 金相顯微鏡的溯源
由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類型、結(jié)構(gòu)及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過不同的技術(shù)手段和方法，我們最終可溯源到“單刻線樣板標(biāo)準(zhǔn)器組”和“0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺”標(biāo)準(zhǔn)器組。
2、 校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立
2.1、物鏡場曲
將一物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時(shí)將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。觀察千分表，其最大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
物鏡場曲誤差的指標(biāo)如下：10X＜0.2mm、25X＜0.1mm、40X＜0.07mm、63X＜0.065mm、100X＜0.04mm
2.2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺上并壓緊。觀察時(shí)測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
2.3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁昧阄?，按?0格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
2.4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場中心像最清晰時(shí)，測得視場內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
2.5、各物鏡相對于目鏡的格值
裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺（推薦使用隨機(jī)0.01mm測微尺）放在工作臺上并壓緊；調(diào)整測微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
