三坐標(biāo)組成部分如下：
工作臺：（一般采用花崗石），用于擺放零件支撐橋架;
工作臺放置零件時，一般要根據(jù)零件的形狀和檢測要求，選擇適合的夾具或支撐。要求零件固定要可靠，不使零件受外力變形或其位置發(fā)生變化。大零件可在工作臺上墊等高塊，小零件可以放在固定在工作臺上的方箱上固定后測量。
橋架：支撐Z滑架，形成互相垂直的三軸：橋架是測量機(jī)的重要組成部分，由主、附腿和橫梁、滑架等組成。橋架的驅(qū)動部分和光柵基本都在主腿一側(cè)，附腿主要起輔助支撐的作用。由于這個原因，一般橋式測量機(jī)的橫梁長度不超過2.5米，超過這個長度就要使用雙光柵等措施對附腿滯后的誤差進(jìn)行補(bǔ)償，或采用其他機(jī)構(gòu)形式。
滑架：使橫梁與有平橫裝置的Z軸連接；滑架連接橫梁和Z軸，其上有兩軸的全部氣浮塊和光柵的讀數(shù)頭、分氣座。氣浮塊和讀數(shù)頭的調(diào)整比較復(fù)雜，直接影響測量機(jī)精度，不允許調(diào)整。
導(dǎo)軌：具有精度要求的運(yùn)動導(dǎo)向軌道，是基準(zhǔn)：導(dǎo)軌是氣浮塊運(yùn)動的軌道，是測量機(jī)的基準(zhǔn)之一。壓縮空氣的油和水空氣中灰塵會污染導(dǎo)軌，造成導(dǎo)軌直線度誤差變大，使測量機(jī)的系統(tǒng)誤差增大，影響測量精度。要保持導(dǎo)軌道完好，避免對導(dǎo)軌磕碰，定期清潔導(dǎo)軌。
光柵系統(tǒng)（光柵、讀數(shù)頭、零位片），是基準(zhǔn)：
光柵系統(tǒng)是測量機(jī)的測長基準(zhǔn)。光柵是刻有細(xì)密等距離刻線的金屬或玻璃，讀數(shù)頭使用光學(xué)的方法讀取這些刻線計(jì)算長度。為了便于計(jì)算出于溫度變化造成光柵長度變化帶來的誤差，采用光柵一端固定，另一端放開，使其自由伸縮。另外在光柵尺座預(yù)置有溫度傳感器，便于有溫度補(bǔ)償功能的系統(tǒng)進(jìn)行自動溫度補(bǔ)償。
零位片的作用是使測量機(jī)找到機(jī)器零點(diǎn)。機(jī)器零點(diǎn)是機(jī)器坐標(biāo)系的原點(diǎn)，是測量機(jī)誤差補(bǔ)償和測量機(jī)行程控制的基準(zhǔn)。
驅(qū)動系統(tǒng)（伺服電機(jī)、傳動帶）：
驅(qū)動系統(tǒng)出直流伺服電機(jī)、減速器、傳動帶、帶輪等組成。驅(qū)動系統(tǒng)的狀態(tài)會影響控制系統(tǒng)的參數(shù)，不能隨便調(diào)整。
空氣軸承氣路系統(tǒng)（過濾器、開關(guān)、傳感器、氣浮塊、氣管）：
空氣軸承（又稱氣浮塊）是測量機(jī)的重要部件，主要功能是保持測量機(jī)的各運(yùn)動軸互無摩擦，由于氣浮塊的浮起高度有限而且氣孔很小，要求壓縮空氣壓力穩(wěn)定且其中不能含有雜質(zhì)、油，也不能有水。過濾器系統(tǒng)是氣路中的最后一道關(guān)卡，由于其過濾精度高，非常容易被壓縮空氣中的油污染，所以一定要有前置過濾裝置和管道進(jìn)行前置過濾處理。氣路中連接的空氣開關(guān)和空氣傳感器都具有保護(hù)功能，不能隨便調(diào)整。
支承（架）、隨動帶：
小型測量機(jī)采用支架支撐三坐標(biāo)測量機(jī)工作臺，中，大型測量機(jī)一般采用千斤頂支撐工作臺。都采用三點(diǎn)支撐，在一個支撐的一側(cè)，有兩個附助支撐，只起保險作用。每個支撐都有一個海綿墊，能夠吸收振幅較小的震動，如果安裝測量機(jī)的附近有幅度較大的震動源，要另外采取減震措施。