儀器特點(diǎn)
◆鑄鐵基座經(jīng)過嚴(yán)格的時(shí)效處理，保證整體穩(wěn)定性。
◆高牌號(hào)工作臺(tái)，經(jīng)過嚴(yán)格熱處理時(shí)效，長期使用保證基準(zhǔn)面不變形，導(dǎo)軌運(yùn)行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無限遠(yuǎn)高倍率光學(xué)系統(tǒng)。
◆采用LED光源照明系統(tǒng)，保證高亮度，長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動(dòng)工作臺(tái)，保證測量精度。
◆超高的工作距離，采用步進(jìn)電機(jī)升降，方便調(diào)節(jié)，自帶DIC裝置插槽。
◆特有粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)最小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性，儀器的部件升級(jí)無需專業(yè)人員，用戶可自行操作完成。
應(yīng)用領(lǐng)域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導(dǎo)電粒子彩色濾光片、手機(jī)屏幕、FPD模組半導(dǎo)體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
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儀器型號(hào) |
RX-200 |
RX-300 |
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X，Y，Z向測量行程（mm） |
200x100x200 |
300x200x200 |
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工作臺(tái)面（mm） |
400x300 |
450x350 |
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外形尺寸（mm） |
600x350x1040 |
700x450x1040 |
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測量精度 |
X，Y軸:（3+L/200）μm Z軸:（5+L/200）μm |
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重復(fù)精度 |
3μm |
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光柵尺分辨率 |
0.001mm |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
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CCD |
高分辨率500萬像素 |
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鏡頭 |
標(biāo)準(zhǔn)金相顯微鏡鏡頭（帶偏光片組，LED燈源） |
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物鏡 |
5X，10X，20X，50X |
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目鏡筒 |
鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒、30°傾斜、瞳距：55～75mm |
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目鏡 |
高亮點(diǎn)、大視場目鏡 |
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調(diào)焦組 |
粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)最小每格0.002mm |
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數(shù)顯裝置 |
多功能數(shù)顯表 |
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測量軟件 |
YR-J |
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上光源 |
LED燈 |
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下光源 |
平行光路設(shè)計(jì)，無極連續(xù)可調(diào)LED冷光源 |
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備注：根據(jù)客戶需求，可特殊定制。
